镀膜仪是通过物理或化学方法在基材表面形成薄膜的科学仪器,主要用于改善材料表面性能。以下是主要类型及应用:
类型
磁控溅射镀膜仪
在真空环境中通过离子轰击靶材,使金属原子沉积到样品表面,形成均匀导电层,适用于扫描电镜样品前处理、传感器制造等。
热蒸发镀膜仪
通过加热材料使其气化,气态粒子沉积在基底形成薄膜,适用于金属、介电膜及光学元件制备。
应用领域
科研领域:扫描电镜样品处理、钙钛矿太阳能电池研发、氢能燃料电池制造。
工业应用:手机渐变色外壳生产、锂电池隔膜镀层、文物修复保护层。
截至2025年,国产镀膜设备在性能提升和成本控制方面取得显著进展,年产能突破百万片。