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多功能手动探针台应用原理

2025年05月20日 16:49:37      来源:智造先锋 >> 进入该公司展台      阅读量:37

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   一、多功能手动探针台应用原理:
 
  (1)KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面,台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调节。
 
  (2)其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-20mm;z方向调节范围:0-20mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测。
 
  二、技术组织规格:
 
  1.腔体材质:304不锈钢
 
  2.上盖开启:铰链侧开
 
  3.加热台材质:304不锈钢
 
  4.内腔体尺寸:φ160x90mm
 
  5.观察窗尺寸:Φ70mm
 
  6.加热台尺寸:φ60mm
 
  7.观察窗热台间距:75mm
 
  8.加热台温度:-196-350℃
 
  9.加热台温控误差:±1℃
 
  10.真空度:机械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa
 
  11.允许正压:≤0.1MPa
 
  12.真空抽气口:KF25真空法兰
 
  13.气体进气口:3mm-6mm卡套接头
 
  14.电信号接头:SMA转BNCX4
 
  15.电学性能:绝缘电阻≥4000MΩ介质耐压≤500V漏电流≤-10次方安培
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