等离子处理机应用领域广泛,比如可用于电器电子工业的电子插接件等,用于汽车、家具、鞋类、水泥制品等的光亮剂成份、用作脱模剂等等。近年来,PDMS是目前微流控芯片制备中使用较多的一种材料。但PDMS质地柔软,单一用PDMS制作的微流控芯片,不适合应用于对其机械刚度要求较高的场合。采用PDMS、硅、玻璃混合封装的方法可以通过合理设计扬长避短,充分发挥各种材料的优点,以满足不同的使用要求。固化后的PDMS表面具有一定的粘附力,一对成型后的PDMS基片不加任何处理,即可借助分子间的引力自然粘合,但这种粘合强度有限,容易发生漏液。
PDMS与硅基材料低温键合的方法多种多样
1.在制作硅-PDMS多层结构微阀的过程中,将PDMS直接旋涂、固化在硅片上,实现硅-PDMS薄膜直接键合,这种方法属于可逆键合,键合强度不高。
2.在制作生物芯片时,利用氧等离子体分别处理PDMS和带有氧化层掩膜的硅基片,将其键合在一起。此方法键合效果并不理想。
3.利用等离子体表面处理,使PDMS与带有钝化层的硅片在室温常压下可以成功键合。
等离子体对高分子材料表面发射反应的机制,可以概括为三步:
第一步:空气中的少数自由电子在高压电场中被加速而获得较高动能,在运动时必然会撞击到空间中的其他分子,既可以是电场中的气体分子,又可以是高分子材料表明的大分子链。被撞击的分子同时接受到部分能量,成为激发态分子而具有活性
第二步:激发态分子不稳定,有分解成自由基消耗吸收的能量,也可能离解成离子或保留其能量而停留于亚稳态。
第三步:自由基或者离子在高分子表面反应时,有可能形成以下几种情况,即形成致密的交联层;等离子体与存在的气体或者单体发生聚合反应,沉积在聚合物表面形成具有可设计性的涂层;等离子体与表面自由基或者离子反应形成改性层
等离子体对聚合物表面作用有许多理论解释,如表面分子链降解理论、氧化理论、氢键理论、交联理论、臭氧化理论及表面介电体理论等,究竟哪一种理论更切合实际,还需进一步研究讨论。目前,以氧化理论、氢键理论和介电体理论更易被人们接受。