三、露点仪技术指标
露点仪测量范围：露点-80～+20℃，（支持ppmv等）
露点仪露点精度：±0.5℃（在一定量程内）
（当露点温度低于0℃，传感器输出为霜点）
响应时间：63％[90％]
+60→-20℃ Td 5s[45s]
-20→-60℃ Td 10s[240s]
分辨率：露点0.1℃或0.1ppm
重复性：±0.2℃
露点仪气体流量：SF 6 调节在0.5～0.9L/min，H 2 调节在0.1～0.4L/min
压力测量：0～1.0MPa
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