平面抛光机抛光盘的平面精度与其精度的保持性决定了平面抛光的精度。因此为了使工件获得高精度的加工平面，必须使用高精度平面的抛光盘。在抛光高精度面积较小的平面加工件时，要使用弹性形变小并且能始终保持平面度的抛光盘。所以在平面抛光盘上涂上一层弹性或软金属材料或者是采用特种玻璃作为抛光盘，都可以获得高精度的表面质量。
在工件材质比较软时，如光学玻璃等，有时可以使用软质的抛光盘(如石蜡盘及沥青盘等)或半软质的抛光盘(如铅盘及锡盘等)来获得高精度的光滑无损伤表面。使用软质的抛光盘，抛光后得到的工件表面具有表面粗糙度与讲过变质层都很小的优点，但存在不易保存工件平面度的缺点，对工件平面度产生影响。
在使用软质的抛光盘时，为了确保得到工件的高精度表面，可以采取的措施有以下几点:
(1)废弃己经磨损变形的抛光盘;
(2)尽量使用耐磨损好的抛光盘;
(3)修整磨损变形。可采用人工修整抛光盘的平面，也可利用标准平板与抛光盘对研修整。
