高精度国产电动气浮转台AUBAT纳米级水平回转工作台
(电动气浮转台)技术参数 | |
规格 | AUBAT-ZTA200 |
台面直径 | 200mm |
轴向跳动(μm) | <0.1μm |
径向跳动(μm) | <0.1μm |
承重(kg) | >500N |
分辨力 | 优于1′ |
重复定位精度 | 优于±2′ |
供气压力 | 0.4~0.6MPa |
驱动方式 | 进口直驱电机 |
工作台面 | 可根据用户需求预留安装孔位 |
配件 | |
压缩空气(气泵)) | 选配 |
油水分离器 | 进口品牌(CKD)气源过滤系统 |
可根据客户的需求提供设计方案,也可直接按其方案加工制造. |
产品特点
• 高精度的气浮转台
AUBAT-ZTA200采用了高精度空气静压转台技术,可获得高精度的转台回转精度,径向误差运动值<100nm,轴向误差运动值<100nm。
• 高重复定位精度
AUBAT-ZTA200转台基于高分辨高分率圆光栅作为反馈元件,高回转精度气浮技术、以及优异的控制算法,可实现优于±2 ′的回转定位精度,优于±1′的重复回转精度。
• 高性能电控系统
AUBAT-ZTA200转台使用了高性能力矩电机,采用直接驱动方式,取消了传动机构, 极大的提高了传动效率;通过优化的控制算法,可达到 0.2arcsec 左右的控制跟随误差;
奥本精密工业AUBAT自主的设计,自有的超精密加工技术,以及可控的生产装配能力、可实现特殊规格的订制服务。
应用领域
1)精密计量:圆度、垂直度、平面度、同心度、圆柱度的计量
2)空间模拟装置,陀螺模拟实验
3)三坐标仪,齿轮测量仪等
4)低速伺服转台
5)精密仪器轴承:圆度仪、摩擦力矩仪等
6)光学测试
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