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高精度国产电动气浮转台AUBAT纳米级

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  • 更新时间:2025-04-29 08:03:30
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产品简介

详情介绍

高精度国产电动气浮转台AUBAT纳米级水平回转工作台


(电动气浮转台)技术参数

规格

AUBAT-ZTA200

台面直径

200mm

轴向跳动(μm)

0.1μm

径向跳动(μm)

0.1μm

承重(kg)

500N

分辨力

优于1′

重复定位精度

优于±2′ 

供气压力

0.4~0.6MPa

驱动方式

进口直驱电机

工作台面

可根据用户需求预留安装孔位

配件

压缩空气(气泵

选配

油水分离器

进口品牌(CKD)气源过滤系统

可根据客户的需求提供设计方案,也可直接按其方案加工制造.



产品特点

• 高精度的气浮转台

AUBAT-ZTA200采用了高精度空气静压转台技术,可获得高精度的转台回转精度,径向误差运动值<100nm,轴向误差运动值<100nm。

• 高重复定位精度

AUBAT-ZTA200转台基于高分辨高分率圆光栅作为反馈元件,高回转精度气浮技术、以及优异的控制算法,可实现优于±2 ′的回转定位精度,优于±1′的重复回转精度。

• 高性能电控系统

AUBAT-ZTA200转台使用了高性能力矩电机,采用直接驱动方式,取消了传动机构, 极大的提高了传动效率;通过优化的控制算法,可达到 0.2arcsec 左右的控制跟随误差;

奥本精密工业AUBAT自主的设计,自有的超精密加工技术,以及可控的生产装配能力、可实现特殊规格的订制服务。

应用领域

1)精密计量:圆度、垂直度、平面度、同心度、圆柱度的计量
2)空间模拟装置,陀螺模拟实验
3)三坐标仪,齿轮测量仪等
4)低速伺服转台
5)精密仪器轴承:圆度仪、摩擦力矩仪等
6)光学测试

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