JJF(苏)261-2023光学显微干涉式三维表面形貌测量仪校准规范

货号：AUBAT-261

超光滑样板

表面粗糙度值 (Sa)1nm，测量噪声；

将超光滑样板置于样品载物台，根据测量仪的操作规范，选择合适的测量模式以及光源，调节仪器直至视场内出现 0.5个周期的干涉条纹，即视场为全亮或全暗状态。再对样板同一有效测量位置连续做两次重复测量，两幅表面形貌图相减可得到差异平面轮廓，计算差异平面轮廓的均方根 Sq 表示为测量噪声。

一维栅格

二维栅格

栅格平均间距(5~10)um Urel≦0.5%,k=2；

栅格平均间距(5~20)um Urel≦1%,k=2;

垂直角度 MPE:±0.1°

XY 方向长度测量误差、重复性、正交误差；

标准台阶/凹槽

Urel=1nm+1%A,k=2

Z 方向长度测量误差、重复性；

光学显微干涉式三维表面形貌测量仪(以下简称测量仪)是一种利用光学干涉原理对样品表面三维形貌进行精密测量的仪器，在样品表面垂直方向上可以达到亚纳米级的分辨力，广泛应用于材料、半导体等领域。大多数情况下，测量仪使用白光作为光源，故也被称作白光干涉仪。

校准方法：

XY 方向长度测量误差

XY 方向长度测量示值误差，应根据校准时选用的物镜放大倍率，选取相应一维栅格进行校准。将一维栅格置于载物台上，在明场条件下选择合适的视野。般情况下，视场中至少有 10 个左右完整周期，并且占到视场 2/3 以上。调整一维栅格，使其线条边缘尽量与X轴垂直放置。进行Y方向校准时，只需旋转一维栅格使其线条边缘与Y轴垂直放置，按照同样方法校准。

XY 方向测量重复性

根据校准时选用的物镜放大倍率，选取相应标准栅格用于 XY 方向的重复性测量，以 10 次测量值的实验标准偏差作为 XY 方向重复性的测量值。

XY方向正交误差

以二维栅格为测量对象，将坐标原点对应探测器的中心。使二维栅格的横向条纹沿X方向，选取 X、Y方向 5个间隔周期以上测量长度，用测量仪测量此时栅格图像上横向与纵向条纹方向的夹角，与标准样板实际校准值的差，即为XY方向正交误差。