JJF(闽)1101-2020在线式CCD图像尺寸测量系统校准规范

货号：

专用尺寸标准器 AUBAT-1101A
专用槽宽标准器 AUBAT-1101B
专用直径标准器 AUBAT-1101C
专用角度标准器 AUBAT-1101D

专用尺寸标准器组（专用槽宽标准器、专用尺寸标准器）

标称值5mm/10mm/20mm/40mm,允许偏差±0.01；标称值60mm/80mm,允许误差±0.02；

专用直径标准器组

标称值1mm,3mm,5mm,允许偏差±0.01；标称值10mm,20mm，允许误差±0.02；

专用角度标准器组

标称值30°,45°,60°,75°,允许偏差±0.1；

注: 专用尺寸标准器、专用槽宽尺寸标准器和专用直径标准器的*小极限标准尺寸、*大极限标准尺寸与基本标准尺寸的技术要求一致。*大极限标准尺寸通常比基本标准尺寸大0.1mm 或0.05mm，*小极限标准尺寸通常比基本标准尺寸小0.1m 或0.05mm。

校准项目：

1. 尺寸测量误差

(专用尺寸、槽宽、直径标准器组，U=0.005mm，k=2；专用角度标准器组，U=0.1°，k=2；)

2. 标定系数的重复性，测量重复性，各位置测量结果的一致性；

（20mm的专用尺寸标准器，U=0.005mm，k=2）

3. 标定系数的非线性误差

（5mm、10mm、20mm、40mm、60mm、80mm 的专用尺寸标准器，U=0.005mm，k=2）

计量特性：

1、标定系数的重复性不超过0.05%。

2、标定系数的非线性误差不超过 0.1%。

3、照度均匀性不超过20%。

4、尺寸测量重复性不超过0.03mm。

本规范适用于测量范围为(0~100)mm，CCD像素在200万以上的在线式图像尺寸测量系统的校准。

校准方法：

1、二维尺寸测量误差

根据测量系统的测量范围合理选择专用尺寸标准器。用某一专用尺寸标准器进行校准时，先选用标准器上的基本标准尺寸用于测量系统的标定。标定时，标准器在 X 轴或Y 轴方向上应尽量充满测量视场，比例应不低于 80%。然后，在软件系统中输入标定系数值，并测量该标准器上的*大极限标准尺寸和*小极限标准尺寸，连续测量 3 次，测得结果的平均值分别与对应尺寸标准值进行比较，计算各自的尺寸测量误差。校准时，在垂直于 CCD 光轴的测量台面上，专用尺寸标准器的标准尺寸应分别平行于X 轴和Y轴方向。槽宽尺寸测量误差校准与二维尺寸测量误差校准的方法类似。

2、直径尺寸测量误差

在线式CCD图像尺寸测量系统直径测量误差的校准采用专用直径标准器包括标准圆孔和标准圆柱。校准时，用某一专用直径标准器上的基本标准尺寸进行标定，在软件系统中输入标定系数值，然后，测量专用直径标准器上的*大极限标准尺寸和*小极限标准尺寸，连续测量3 次，测得结果的平均值分别与对应直径标准值进行比较计算各自的直径测量误差。

3、校准时，对某一专用角度标准器上的*大标准角度、基本标准角度和*小标准角度连续测量 3 次，测得结果的平均值分别与对应角度标准值进行比较，计算各自的角度测量误差。选取其中*大的角度测量误差值作为角度测量误差。