研磨面平尺
直径:300mm 500mm
精度:平面度0.3μm
规程通用检定校准器具:
JJG343-2012光滑极规检定规程MPEV:0.15μm;
JJF1890-2021直线度测量仪校准规范;
JJG661-2004平面等倾干涉仪检定规程;
JJG905-2010刮板细度计检定规程0.4μm;
JJG63-2007刀口形直尺检定规程;
JJG7-2004直角尺检定规程≦1μm;
JJF1140-2006直角尺检查仪校准规范;
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