膜厚测量仪可由用户按需选择装配模块，核 心部件包括光源，光谱仪（适用于 200nm-2500nm 内的任何光谱系统）和控制单元，电子通讯模块。
此外，还有各种各种配件，比如：
1.用于测量吸收率/透射率和化学浓度的薄膜/试管架；
2.用于表征涂层特性的薄膜厚度工具；
3.用于控制温度或液体环境下测量的加热装置或液体试剂盒；
4.漫反射和全反射积分球。
通过不同模块组合，蕞终的配置可以满足任何终端用户的需求。
测量原理：
1.光学干涉法：这是膜厚测量仪中较常用的原理之一。它基于光的干涉现象，通过测量光波在材料表面反射和透射后的相位差来计算薄膜厚度。这种方法适用于透明或半透明的薄膜，如光学薄膜、半导体薄膜等。
2.X射线荧光测厚法：在金属镀层厚度测量仪中，X射线荧光测厚仪是一种广泛使用的仪器。它利用X射线照射金属表面，通过测量荧光辐射的能量来测量镀层厚度。这种方法适用于各种金属材料的镀层厚度测量。
3.超声波测厚法：超声波测厚仪利用超声波在介质中的传播速度和声波反射原理，通过测量超声波在涂层中的传播时间和反射时间来计算涂层厚度。这种方法适用于涂层、塑料、橡胶等非金属材料的厚度测量。
4.涡流测厚法：涡流测厚仪则是利用电磁感应原理，通过测量涡流在涂层中的变化来计算涂层厚度。这种方法也适用于涂层、塑料、橡胶等非金属材料的厚度测量。
膜厚测量仪的配件：
1.电脑：19英寸屏幕的笔记本电脑/触摸屏电脑；
2.聚焦模块：光学聚焦模块安装在反射探头上，光斑尺寸＜100um；
3.显微镜：用于高横向分辨率的反射率及厚度显微测量；
4.流通池：液体中吸光率、微量荧光测量；
5.积分球：用于表征涂层和表面的镜面反射和漫反射；
6.薄膜/比色皿容器：在标准器皿中对薄膜或液体的透射率测量；
7.接触式探头：用于涂层厚度测量和光学测量的配件，适用于弯曲表面和曲面样品；
8.手动 X-Y 样品台：测量面积为 100mmx100mm或200mmx200mm的x-y手动平台；
9.加热模块：嵌入FR-tool中，范围由室温~200℃，通过FR-Monitor 运行可编程温控器（0.1℃精度）；
10.液体模块：聚四氟乙烯容器，用于通过石英光学窗口测量在液体中的样品。样品夹具，用于将样品插入可处理30mmx30mm样品的液体中；
11.Scanner（motorized）：带有圆晶卡盘的Polar（R-Θ）或 Cartesian（X-Y）自动化样品台可选，Polar（R-Θ）样品台支持反射率测量，Cartesian（X-Y）样品台支持反射率和透射率测量。
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