对位平台主体材料为高强度硬质铝合金，表面阳极氧化黑，耐磨性好，外观精美。
导轨采用高精密交叉滚柱导轨，直线度高，运行稳固顺畅，有侧向调整导轨预紧力和消除间隙的功能，螺杆采用高精密滚珠丝杠，定位精度高，搭配视觉影像检测。
导轨采用高精密交叉滚柱导轨，直线度高，运行稳固顺畅，有侧向调整导轨预紧力和消除间隙的功能，螺杆采用高精密滚珠丝杠，定位精度高，搭配视觉影像检测。
三轴在同一平面内驱动，相比传统的XYθ，结构更紧凑，承载能力更高，安装空间更小，三轴同动与四点支撑相结合，受力均匀。
在机器视觉、激光位移，精密位移调整、自动检测设备、高校科学研究、光学通讯等各个领域有很好的应用。
在机器视觉、激光位移，精密位移调整、自动检测设备、高校科学研究、光学通讯等各个领域有很好的应用。
| 型号 | RUXYR60-H | RUXYR80-H | RUXYR120-H | |
| 机械规格 | 台面尺寸 | Ø60MM | Ø80MM | Ø120MM |
| 移动行程X轴 | ±7.5MM | ±12MM | ±15MM | |
| 移动行程Y轴 | ±7.5MM | ±12MM | ±15MM | |
| 移动形成 | ±8.5° | ±10° | ||
| 传动方式 | 螺杆传动 | |||
| 轨道XY轴 | 交叉滚柱式 | |||
| 轨道Θ轴 | 交叉滚柱轴承 | |||
| 材质/表面处理 | 铝合金/黑色阳极处理 | |||
| 精度等级 | 精密性 | |||
| 马达方向 | R:右侧安装 L:左侧安装 | |||
| 精度规格 | XY轴解析度 | 5ΜM/2.5ΜM | ||
| Θ轴解析度 | 0.0056°/0.0028° | 0.0047°/0.0023° | 0.0034°/0.0017° | |
| XY轴单向定位精度 | 10ΜM | |||
| XY轴反复定位精度 | ±1ΜM | |||
| Θ轴单向定位精度 | 0.05° | |||
| Θ轴反复定位精度 | ±0.01° | |||
| 荷重（KG） | 6 | 10 | 25 | |
| XY轴空转 | 2ΜM | |||
| Θ轴空转 | 0.01° | |||
| 平行度 | 20ΜM | 30ΜM | ||
| 运动同心度 | 20ΜM | |||
| 运动平行度 | 10ΜM | 15ΜM | ||
| 电器规格 | 马达类型 | 28步进电机 | 28步进电机 | 28步进电机 |
| 马达品牌 | MOONS'(鸣志) | |||
| 滑台侧接头 | 15PIN公端连接器D-SUB | |||
| 控制器侧接头 | 15PIN母端连接器D-SUB | |||
| 电源电路 | 24V±10% | |||
| 控制输出 | NPN开放式集电极输出24V 8MA以下 | |||
| 输出控制 | 检测（感应时）：输出电晶体OFF | |||
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