OPTM 系列显微分光膜厚仪
• 使用显微光谱法在微小区域内通过*对反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。
• 可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了 即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件。
• 头部集成了薄膜厚度测量所需功能
• 通过显微光谱法测量高精度*对反射率（多层膜厚度，光学常数）
• 1点1秒高速测量
• 显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）
• 区域传感器的安全机制
• 易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
• 独立测量头对应各种inline客制化需求
• 支持各种自定义
测量项目：
• *对反射率测量
• 多层膜解析
• 光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）
OPTM 系列显微分光膜厚仪
型号 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
波长范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
测定时间 | 1秒 / 1点 | ||
光斑大小 | 10μm (小约5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
电源規格 | AC100V±10V 750VA（自动样品台规格） | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体 部分) | ||
重量 | 约 55kg（自动样品台规格之主体部分） | ||
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