产品介绍

MF系列基本型探针台，是一款适用于4-6英寸晶圆测试的基本型探针台，结构紧凑，配置丰富，可搭配中体式或视频显微镜，实用且性价比高，非常适合高校、研究机构、半导体工厂等实验室的半导体测试应用，模块化结构设计，支持后期灵活扩展升级。

产品特点
◆带卡盘快速拖出机构，方便晶圆上下片
◆卡盘可360°旋转及小角度微调
◆采用双臂万向显微镜支架，可360°旋转或前后快速移动显微镜，方便快速定位任意针测位置
◆卡盘平移台采用精密丝杆传动结构，无回程差设计，定位精准
◆全新表面处理针座平台，摩擦力大，针座吸附更稳定
◆卡盘可选镀金卡盘、高温卡盘、陶瓷卡盘、高透石英玻璃等
◆兼容连续变倍体视显微镜或视频显微镜
◆台面可个性化定制，满足特殊测试需求
◆可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统
◆模块化设计，方便后期功能扩展升级

应用方向
晶圆/样片/分立器件/晶体管/纳米器件/功率器件测试；封装器件/PCB板测试；LED/PD/LD光电材料/器件的测试、可靠性分析或失效分析；30微米以上电极/PAD测试；I/V、C/V、C/F、射频S参数、有源测试、耐压测试、ESD测试、混合参数测试等