| 产品名称 | GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪
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| 产品型号
| GSL-1100X-SPC-16
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| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，,承重50kg以上 5、通风装置：不需要
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| 主要参数
| 1、电源：220V 2、总功率 lt;2000W（包括真空泵） 3、真空室 160mm×120mm 4、样品台 50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 5、max均匀镀膜 45mm
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| 产品规格 | 尺寸：400mm×300mm×400mm 重量：30kg
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