扫描电子显微镜还具有观察样品的景深大、视场大，图像富有立体感，样品制备简单，可以通过电子学方法有效地控制和改善图像质量以及可进行综合分析等特点。

　　随着科学技术的不断进步，扫描电子显微镜已经成为材料科学、生命科学和各生产部门控制质量环节中的工具之一。

　　扫描电子显微镜是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段，主要用于各种材料的微观分析和成分分析。

　　扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品， 通过光束与物质间的相互作用， 来激发各种物理信息， 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

　　扫描电子显微镜基本的功能仍然是放大镜的功能，实现人眼以及光学显微镜所观察不到的样本的更多细节特征。它广泛应用于材料科学研究、生物学、工业制造等领域扫描电镜主要分为两种类型：热发射式扫描电镜CSEM和 场发射式扫描电镜FESEM

　　扫描电镜主要结构：热发射式扫描电镜（C-SEM）和场发射式扫描电镜（FE-SEM）的主要区别是电子发射电子的方式不同。

　　热发射电子使用的是钨灯丝或者六硼化镧灯丝，在灯丝加热到足够的温度之后，电子便从灯丝发射；

　　场发射电子又分为热场发射和冷场发射两种，电子在电场力的作用下从灯丝发射，热场灯丝也需要加热，冷场灯丝不需加热。热场和冷场电镜各有各自的优缺点，蔡司场发射电镜使用的是热场电子源。场发射式电镜具有更高的分辨率。