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钛靶材，钛元素符号Ti，原子序数22，密度4.454g/Cm3，物理性质：熔点1668℃，沸点3262℃，比热容0.52（J/(Kg·K)，蒸发热421（KJ/Mol），熔化热15.45（KJ/Mol），导电率0.0234（106/Cm）
钛靶材，钛元素符号 Ti ，原子序数 22 ，密度 /Cm3 ，物理性质：熔点 1668℃，沸点 3262℃，比热容 （J /(Kg·K) ，蒸发热 421（KJ/Mol），熔化热 （KJ/Mol），导电率 （106/Cm） 。由于高纯钛的成本相当昂贵，应用领域极其有限，主要用作半导体材料和超高真空装置中的吸气材料。高纯钛具有吸气性，特别是吸氢、CH4、Co2气体，因此它能在高真空和超高真空系统中获得广泛应用。用高纯钛溅射制作LSI、VLSI、ULSI的线路网时，可使这些集成件变得格外轻、薄、尺寸小而且线路密集。高纯钛靶材也可以用作阻挡层金属材料
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