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镍铬合金靶材电阻薄膜具有高电阻率、低电阻温度系数、较高的灵敏系数而且对温度依赖小等特点,由于镍铬合金电阻薄膜制备容易、工艺成熟、性能稳定,因而得到广泛应用,主要用于制备混合集成电路中的精密电阻薄膜,其能满足电阻应变计敏感薄膜的性能要求,因此常用于制备薄膜电阻应变计
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