URE-2000系列紫外单面光刻机此系列包含六种型号:URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17URE-2000/600紫外光刻机1、设备主要技术指标:(1)光束口径:650mm×650mm(2)有效曝光面积:600mm×600mm(3)分辨力:≤3μm(4)对准精度:±1
URE-2000 系列紫外单面光刻机
此系列包含六种型号:URE-2000A,URE-2000B,URE-2000/35,URE-2000/35A,URE-2000/25,URE-2000/17
URE-2000/600 紫外光刻机
1、设备主要技术指标:
(1)光束口径: 650mm×650mm
(2)有效曝光面积:600mm×600mm
(3)分辨力:≤3μm
(4)对准精度:±μm
(5)对准显微镜中心距:75mm-600mm 可调
(6)掩模尺寸:650mm×650mm
(7)样片尺寸:可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm
×600mm,厚度为 ~20mm 的多种规格样片;
(8)光源不均匀性:≥ 95%(Ф600mm)
(9)掩模相对于样片运动行程:X:±15mm; Y:±15mm; Z:15mmΦ:±10º
(10)曝光面光强 gt;15mW/cm2(i、g、h 线)
(11)汞灯功率:2500W(直流)
(12)曝光量设定方式:定时( 方式 ,设定精度 )
2.技术主要组成部分
大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由:高均匀照明曝光系统、对准工件台系
统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置如下:
(1)高均匀照明系统包括:
。冷光椭球镜;
。2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。 XYZ 汞灯调节台;
。光学系统:椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 ,2、蝇眼透
镜组、抛物面冷光反射镜;
。冷却风扇;
。循环水冷系统。
(2)对准工件台系统包括:
掩模样片相对运动台;
转动台;
样片调平机构,自动完成;
样片调焦机构,自动调整;
承片台 10 个:Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm;450mm×450mm;600mm
×600mm;
掩模夹 1 个:650mm×650mm;
抽拉式上下片机构。
(3)CCD 对准系统包括:
光源、电源;
显微镜工作台;
成像光学系统(两套);
数据采集卡;
CCD 图像处理部件(两套)。
(4)电控系统包括:
大功率汞灯触发电源;
单片机控制系统;
薄膜开关面板;
控制柜桌;
(5)气动系统包括:
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等;
电磁阀驱动部件;
气动显示仪表。
(6)其他配套附件
真空泵一台(无油泵、SK-65C 型);
空压机一台(型、YB-W30 型);
水冷机一台(H35W 型);
配套接口管道
二、URE-2000/A12 紫外光刻机
1、设备主要技术指标:
(1) 曝光面积: 300mm×300mm;
(2)分辨力:±2μm;
(3)对准精度:±2μm;
(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;
(5)样片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;
(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;
(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;
(8)掩模相对于样片运动行程:X:±5mm; Y:±5mm;Ф:±6°;
(9)汞灯功率:1000W(直流);
(10)曝光能量密度:≥ 10mW/cm 2 ;
(11)曝光峰值波长:365nm;
(12)光源平行度:<2°;
(13)曝光方式:定时( 方式 —);
(14)光刻版夹具兼容性
2.技术主要组成部分
(1)曝光头系统包括:
冷光椭球镜;
德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯;
XYZ 汞灯调节台;
光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜);
冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
掩模样片相对运动台;
(XY),转动台
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