JIB-4000-JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统-深圳市蓝星宇电子科技有限公司

JIB-4000 聚焦离子束加工观察系统

JIB-4000聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后，就能对样品表面进行SIM观察、研磨，沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品，为观察样品内部制备截面样品。通过与SEM像比较，SIM像能清楚地显示出归因于晶体取向不同的电子通道衬度差异，这些都非常适合于评估多层镀膜的截面及金属结构。

·产品规格

·FIB

离子源	Ga （镓）液态金属离子源
加速电压	1～30ｋV（5 kV/步）
放大倍率	×60 （用于视场搜索） ×200～×300,000
图像分辨率	5 nm (30 kV)
大束流	60 nA (at 30 kV)
可变光阑	12 档(马达驱动)
离子束加工形状	矩形、线状、点状
样品台	块状样品用 5 轴测角样品台 X:±11 mm Y:±15 mm Z: ～－23 mm T:－5 ～＋60° R:360°无限样品大尺寸: 28 ｍｍφ（高度13 ｍｍ）、50 ｍｍφ（高度2 ｍｍ）

·主要附件

·气体注入系统 (IB-02100GIS2)

·碳沉积圆筒 (IB-52110CDC2)

·钨沉积圆筒(IB-52120WDC2)

·白金沉积圆筒 (IB-52130WDC2)

·侧插式测角样品台 (IB-01040SEG)

·束流探测器 (IB-04010PCD)

·操作面板(IB-05010OP)

·样品台导航系统 (IB-01200SNS)

·FIB Tip-on(上可以安装附件的)样品架(EM-02210)

·FIB 块状样品用样品架FIB (EM-02220)

·FIB 块状样品用样品架1(EM-02560FBSH1)

·FIB 块状样品用样品架2 (EM-02570FBSH2)

·FE-SEM 样品架适配器 (EM-02580FSHA)

·穿梭移动夹头Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)

·原位样品提取系统 (EM-02230)

产品特点：

·JIB-4000聚焦离子束加工观察系统配置了高性能的离子镜筒(单束FIB装置)。被加速了的镓离子束经聚焦照射样品后，就能对样品表面进行SIM观察、研磨，沉积碳和钨等材料。还可以为TEM成像制备薄膜样品，为观察样品内部制备截面样品。通过与SEM像比较，SIM像能清楚地显示出归因于晶体取向不同的电子通道衬度差异，这些都非常适合于评估多层镀膜的截面及金属结构。

·高性能FIB镜筒

·JIB-4000采用高性能的FIB镜筒，大离子束流高达 60 nA，能进行快速研磨。大电流下的快速加工尤其适合于大面积的研磨，制备100 μｍ以上用来观察的截面非常轻松。