| 项 目 | 参 数 |
| 测量元素范围 | Cl（17）-U（92） |
| 涂镀层分析范围 | 各种元素给及有机物 |
| 分析软件 | EFP，可同时分析23层镀层，24种元素，Rohs检测等，不同层有相同元素也可分析。 |
| 软件操作 | 人性化封闭软件，自动提示校正和步骤，避免操作错误 |
| X射线装置 | W靶微聚焦加强型射线管 |
| 接收器 | SDD 70mm2 |
| 准直器 | Ø mm； Ø mm； Ø mm； Ø mm； 四准直器自动切换 |
| 最近测距光斑扩散度 | 10% |
| 测量距离 | 具有距离补偿功能，可改变测量距离，能测量凹凸异型样品，变焦距离0-30mm |
| 样品观察 | 1/彩色CCD，变焦功能 |
| 对焦方式 | 高敏感镜头，手动对焦 |
| 放大倍数 | 光学38-46X，数字放大40-200倍 |
| 样品台尺寸 | 500mm*360mm |
| 移动方式 | 高精密XY手动滑轨 |
| 可移动范围 | 50mm*50mm |
| 随机标准片 | 十二元素片、Ni/Fe 5um、Au/Ni/Cu um/2um |
| 其它附件 | 联想电脑一套、喷墨打印机、附件箱 |
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