压电纳米定位台：

压电纳米定位台是以压电陶瓷做为基础元件驱动的压电平移台，X 轴，XY 轴，XYZ 轴多维压电平移台，驱动形式包含压电陶瓷直驱式以及机机构放大式两种驱动形式。相同驱动电压下，机构放大平台的位移是直驱平台位移的几倍至几十倍；直驱平台的响应速度要比机构放大平台的速度快。压电平移台的运动行程范围可达 300μm，且它具有纳米级分辨率以及毫秒级的响应时间。在精密定位领域中发挥着至关重要的作用，且应用非常广泛，例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。

Z03 压电纳米定位台是一维 Z 向运动的压电平台，它的行程范围较大，可达 250μm，具有非常大的载物平面，非常适于面积较大的负载应用。